潔凈精準(zhǔn)溫控系統(tǒng)：實(shí)現(xiàn) 5℃-35℃寬域控溫（靜態(tài)精度 ±0.5℃）。針對(duì)潔凈室的溫濕度均勻性要求，通過(guò) FFU 風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元與分布式送回風(fēng)設(shè)計(jì)，確保車間內(nèi)任意點(diǎn)溫差≤±1℃，濕度偏差控制在 ±2% RH 以內(nèi)，懸浮粒子濃度（0.5μm）≤3520 粒 /m3（符合 ISO 5 級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn)）。相比傳統(tǒng)空調(diào)，光刻機(jī)工作環(huán)境穩(wěn)定性提升 40%，顯示面板光刻線寬偏差縮小至 ±0.1μm，有效減少因溫濕度波動(dòng)導(dǎo)致的工藝缺陷。
智能工藝聯(lián)動(dòng)技術(shù)：搭載潔凈室專用 PLC 與高精度溫濕度傳感器，實(shí)時(shí)采集車間溫濕度、工藝設(shè)備發(fā)熱功率、空氣潔凈度等 12 項(xiàng)參數(shù)，通過(guò)負(fù)荷預(yù)測(cè)算法動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)制冷量與加濕量。支持與廠房 MES 系統(tǒng)對(duì)接，根據(jù)生產(chǎn)節(jié)拍（如晶圓曝光時(shí)段自動(dòng)增強(qiáng)控溫）切換運(yùn)行模式，實(shí)現(xiàn) “高精密加工 - 穩(wěn)定”“設(shè)備待機(jī) - 節(jié)能運(yùn)行” 的智能匹配。操作人員通過(guò) 10 寸無(wú)塵觸摸屏監(jiān)控三維溫濕度場(chǎng)，系統(tǒng)自動(dòng)生成環(huán)境參數(shù)報(bào)告（月度溫濕度波動(dòng)≤±0.3℃/±2% RH）。
低微粒與安全設(shè)計(jì)：與循環(huán)水接觸部件采用 316L 不銹鋼材質(zhì)，內(nèi)壁電解拋光（Ra≤0.8μm），避免微粒脫落（≤1 個(gè) /ft3@0.1μm），水路系統(tǒng)配備超純水過(guò)濾裝置（電阻率≥18.2MΩ?cm），符合 SEMI F47 標(biāo)準(zhǔn)。設(shè)備外殼采用無(wú)磁不銹鋼，表面防靜電處理（表面電阻 10?-10?Ω），防護(hù)等級(jí)達(dá) IP54，適應(yīng) Class 5 級(jí)潔凈室環(huán)境。配備多重安全保護(hù)：超溫聯(lián)鎖（室溫超 28℃立即報(bào)警）、濕度異常保護(hù)（RH＜35% 或＞65% 自動(dòng)調(diào)節(jié)）、空氣微粒超標(biāo)預(yù)警，符合 GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范，保障精密制造安全。
半導(dǎo)體晶圓廠：用于 12 英寸晶圓制造潔凈室（Class 5 級(jí)），通過(guò)控制光刻區(qū)溫度在 23℃±0.1℃、濕度 45%±2% RH，確保光刻機(jī)曝光精度達(dá) 1nm 級(jí)，晶圓良率提升 5% 以上，滿足 7nm 以下制程需求。
OLED 顯示面板廠：在蒸鍍車間（Class 4 級(jí)潔凈室）采用分布式冷水機(jī)方案，控制基板傳輸區(qū)溫度在 20℃±0.2℃，使面板殘影不良率下降至 0.1% 以下，適配柔性 OLED 屏幕的量產(chǎn)需求。
電子元器件廠房：針對(duì) MLCC（多層陶瓷電容器）燒結(jié)后的冷卻，通過(guò) 25℃±0.5℃精準(zhǔn)控溫與低振動(dòng)設(shè)計(jì)（振動(dòng)加速度≤0.1g），使元件容量偏差控制在 ±1% 以內(nèi)，滿足汽車電子的高可靠性要求。
光伏電池片工廠：在 PERC 電池片鍍膜工序中，為 PECVD 設(shè)備提供 22℃±0.3℃冷卻，控制鍍膜均勻性偏差≤2%，電池轉(zhuǎn)換效率提升 0.3% 以上，適應(yīng) GW 級(jí)光伏產(chǎn)能的穩(wěn)定生產(chǎn)。
