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2018
08-21

點石成金||中圖儀器光學3D表面輪廓儀助力半導體產業大發展
引言：半導體產業是一個點石成金的行業，將從普通的石英砂中提取的硅原料制成擁有現代工業系統“心臟”之稱的IC芯片，中間須歷經數十上百道工序，從硅晶圓的制備到晶圓IC的制造，每一步都對工藝流程的質量有著嚴格的管控要求，由各式各樣的檢測儀器共同組成了產品質量監控的守門員，而在這之中，作為產品表面質量檢測儀器的光學3D表面輪廓儀，以其超高的檢測精度和重復性，發揮著重要的作用。中圖儀器SuperViewW1光學3D表面輪廓儀，是一款于超精密加工領域的光學檢測儀器，其分辨率可達0.1nm。半導體產業作為超精
2018
08-21

三維表面粗糙度參數Sa的前世今生
傳統的粗糙度評定為二維參數評定，評定的時候在一條線上進行評定，不能夠完整地反映整個表面的全部信息，越來越不能滿足加工行業的發展需要。表面形貌的三維評定方法是利用區域表面獲得所需要的相關信息，給出表面形成機理信息和研究表面的直觀圖像，三維評定從整體上對零件表面特征進行描述，具有全局性。三維表面粗糙度參數有很多，今天介紹個參數Sa。定義：Sa為表面算術平均高度，指輪廓表面內的點與中心面距離的算術平均或幾何平均值，在取樣區域D上，被測量的輪廓面和建立的基準面之間的z坐標距離的算術平均，即表面粗糙度曲面
2018
08-21

SJ6000激光干涉儀在手，激光切割機精度檢測不愁！
激光切割機可對多種金屬或非金屬零部件等小型工件進行精密切割或微孔加工，具有切割精度高、速度快、熱影響小等優點。別是對于高硬度、高脆性及高熔點的各種材料精細加工，激光切割相較于傳統接觸式切削加工具有突出的優勢。如今3C電子行業發展迅猛，激光切割發展潛力巨大，3C電子產品上常見的激光切割工藝有藍寶石玻璃手機屏幕激光切割、攝像頭保護鏡片激光切割、手機Home鍵激光切割、FPC柔性電路板激光切割、手機聽筒網激光打孔等等。由于3C電子行業對加工精度要求很高，那么激光切割機的定位精度和重復定位精度必須滿足要
2017
12-07

中圖儀器光學輪廓儀帶你領略3D “新視界”
在半導體、超精密加工及微納材料等領域，器件的表面質量直接關系著后期的產品質量和研究成果，中圖儀器SuperViewW1系列光學3D表面輪廓儀，是一款分辨率達到亞納米級別的光學檢測儀器，助您輕松實現2D/3D表面粗糙度、輪廓測量，超高精度，“納”么簡單。——3D測量，一覽無余——采用白光干涉技術，結合具有優異抗噪性能的3D重建算法，真實還原樣品的每一個細節，隨意翻轉縮放，助您輕松觀察、測量樣品的任意特征。——功能強大，參數齊全——粗糙度、平面度、孔洞分析、頂點分析等3D測量功能全部囊括，距離、角度
2017
12-07

SJ5701粗糙度輪廓測量儀在手，模具測量不愁
模具被稱為“工業之母”，主要用于、大批量生產工業產品中的有關零部件。隨著現代化工業的發展，模具已廣泛應用于汽車、家電、消費電子、儀器儀表、航空航天和醫療器械等產品，其中約60%-80%的零部件產品需要依靠模具加工成型。模具的核心部位是模芯，模芯形狀多為曲面，其輪廓、粗糙度、尺寸精度等對于zui終零件尺寸、光潔度、甚至注塑成型工藝等都有重要影響，因此對模具進行準確測量非常重要。測量模芯曲面，、zui有效的方式就就是采用粗糙度輪廓測量儀，中圖儀器自主研發的SJ5701粗糙度輪廓測量儀在模具中有著廣泛
2017
06-28

激光干涉儀你用對了嗎？
激光干涉儀是精度zui高的線性位移測量儀器，其光波可以直接對米進行定義，可溯源至國家標準。但是我們在使用中往往會出現檢測偏離值，偏離我們的預估，以至于在高精度檢測時，對設備產生懷疑。今天我們來扒一扒引起激光干涉儀測量誤差的部分原因。1、阿貝誤差因測量光學鏡組的安裝高度不在被測設備的運動軸上引起的測量誤差稱之為阿貝誤差。產生的原因是設備移動時存在俯仰、扭擺差，因此光學鏡組與運動軸偏置距離越遠，引起的阿貝誤差越大。角度、偏置距離引起的誤差表（單位：um）角度（″）偏置距離（mm）5105010050
2017
03-16

淺析使用SJ5100高精度光柵測長機測量錐螺紋量規基準面中徑
前言：如何在測長機上非常準確地進行錐螺紋量規的基準面中徑測量，是目前國內外測長機的一道難題，中圖儀器SJ5100高精度光柵測長機針對此應用進行了*設計及算法優化，較好地解決了這個難題。錐螺紋基準面中徑測量錐螺紋基準面中徑是所有錐螺紋量規zui重要的一項參數，在未出現螺紋綜合測量儀之前，所有錐螺紋量規均采用此項參數作為是否合格的評判指標。傳統測量錐螺紋基準面中徑主要采用三針法，如下圖：傳統方法測量錐螺紋基準面中徑的缺點是在測量時只能估算基面距-所測截面到基準面之間的距離，那么得到的基準面中徑只能是
2016
12-08

中圖儀器SJ6000激光干涉儀在高精密直驅平臺上的應用
高精密直驅平臺廣泛應用于半導體晶圓檢測、微電子組件測試取放、DNA測序、激光加工等領域，定位精度要求高，線性位移100mm行程范圍內定位誤差要求≤1μm。人類頭發直徑約70μm，就是要比人類頭發直徑的70分之1還要小，如此高定位精度的平臺測量和校準普通檢測設備根本無法做到。中圖儀器SJ6000激光干涉儀為客戶直驅平臺定位精度的測量和驗證提供了良好的解決方案，精度達到納米級，在穩定的實驗條件下滿足了客戶測量和校準的要求，提高了客戶產品的質量和檢測效率，取得了不錯的市場反響。測量時，根據直驅平臺移動
2016
08-11

壓力校驗多面手
壓力類儀表是常見的計量器具，廣泛應用于各個領域。它監視生產運行過程中的安全動向，并通過自動連鎖或傳感裝置，構筑了一道迅速可靠的安全保障，為防范事故、保障人身和財產安全發揮了重要作用，被稱作安全的"眼睛"。壓力類儀表因其重要性，必須定期對其進行檢定。壓力類儀表種類繁多，那么對其檢定裝置介質要求也各不相同，常用的有液體、氣體兩種，有的檢定甚至需要真空、電測量等。如果每種壓力儀表配一種檢定裝置，不經濟而且效率很低，那么有沒有一種通用型的一體機能夠滿足大多數壓力類儀表檢定？有，它就是中圖儀器ZT5810
2016
07-20

測長機檢測塞規的方法
SJ5100測長機是一種通用長度計量儀器，既可以檢定螺紋/光面量規、量塊、外徑千分尺、針規、指示表等各種量具又可以測量齒輪、花鍵、校對棒等精密工件，因此又被稱之為“測長機”。測長機檢測塞規的方法1)使用以下附件：—1套測桿加高塊SR-H65.1—1套Φ6.5測帽夾套SR-H6.5和硬質合金球測頭SRH-6.5_6.5（φ6.5mm）—1個五軸工作臺ST-30.1或ST-15.1—1個帶定位中心的浮動測量平臺SF-P60.1或SF-PT60.12）浮動測量平臺SF-PT60.1的性能：—固定在測量
2016
07-20

輪廓測量儀原理及應用
SJ5700輪廓測量儀具有精度高、使用方便、功能強等優點，能夠對各種工件輪廓進行長度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等幾何參數測量。輪廓測量儀原理：輪廓測量儀是一種兩坐標測量儀器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉換成電信號，該電信號經放大和處理，再轉換成數字信號儲存在計算機系統的存儲器中，計算機對原始表而輪廓進行數字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標
2016
07-20

激光干涉儀工作原理
SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、zui高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有*的精度和效率，為機床誤差修正提供依據。激光干涉儀工作原理如下：激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束(參考光束)射向連接分光鏡
2015
12-16

指示表檢定儀使用前必須考慮的細節因素-溫度
（1）指示表檢定儀在使用前，環境溫度應盡量接近標準溫度（20℃）時進行測量。在實際工作中，實驗室應有很好的保溫、恒溫措施，在指示表檢定儀進行檢定時，要盡量保持環境的溫度與檢定規程中所要求的溫度（一般為（20±2）℃）相一致。另外，電氣設備、計算機、人員都是熱源，在設備安裝時要做好規劃，使電氣設備、計算機等與測量儀器有一定的距離。（2）減少空調安裝對指示表檢定儀測量結果的影響。要保溫、恒溫，實驗室就必須安裝空調，由于變頻空調節能性能好、控溫能力強（正常可控在±1℃內），所以盡量選擇變頻空調。另外，

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